在進行高效檢漏、潔凈度級別確認等測試之前，我們通常都應先進行風速風量的測試，以確保上述檢測結果不合格時可以對其原因進行追溯性判定，同時風速風量測試也是確認潔凈室是否達到設計目標的重要指標之一。無論是在國際或國內標準中，風速風量測試都被放在了潔凈室必測項目中應優先進行的位置，足見其重要性。
一、檢測方法
1、單向流系統應測量風速分布
可用單向流的風速來測定單向流潔凈室的性能。可以在靠近終端送風過濾器表面的位置或是在室內測量風速。方法是規定出與送風氣流成直角的測量截面，然后把其分成面積相等的測量點（方格單元）
選點位置：應該在距過濾器表面或入口截面約150 mm ~ 300 mm的位置測量風速。
布點數量：測量點（方格單元）的數目很大程度取決于測量用儀器、房間基礎設施參數、工藝設備的位置以及所安裝過濾器單元的設計。應采用下面公式計算最少測量點（方格單元）數目：
N=√(10×A)
二、設備要求
| 儀器類型 | 儀器名稱 | 性能要求 |
|---|
| 風速儀 |
• 熱線式風速計
• 葉輪式風速計
• 三維超聲波風速計或等效物
• 皮托管和壓力計
• 矩陣式：根據氣流中某一位置的總壓和靜壓差測量風速。
平均氣流網格使用多個管陣列同時測量網格上的氣流，并使用多米電子壓力計提供平均速度。
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分辨率：0.01 m/s (0.20 m/s-0,99 m/s)；
0.1/s (≥1.00 m/s)
最大誤差：0.1 m/s (0.20 m/s-1.00 m/s)；
10% of reading(＞1.00 m/s)
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| 空氣流量表 |
• 帶有測量裝置的風量罩，用于測量氣流可能變化的區域的風量，提供該區域的組合風量。
收集并集中總氣流，使測量點的速度代表總面積的橫截面平均速度。
• 孔板流量計
• 文丘里流量計
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分辨率：0.001 m3/s
最大誤差：0.01 m3/s (0 m3/s -0.1 m3/s)；
10% of reading (＞0.1m3/s) |
三、檢測間隔
風速風量的最長檢測間隔時間不宜超過12個月。
