根據(jù)IEST-RP-CC-034.1中的定義，對0.3μm粒徑粒子的最小攔截效率達到99.97%的過濾器被稱為高效過濾器，即High Efficiency Particulate Air，簡稱HEPA。
高效空氣過濾器的常用濾料有超細玻璃纖維等，被廣泛應(yīng)用于潔凈室空調(diào)機組送風末端、潔凈室末端以及各類層流設(shè)備當中。
二、為什么要對高效過濾器進行檢漏高效檢漏測試旨在驗證潔凈室設(shè)施不存在旁路滲漏，過濾器不存在缺陷（過濾器介質(zhì)和密封框架上的小孔、其他損傷，以及過濾器邊框泄漏），從而確認終端高效過濾器安裝良好。
高效過濾器作為攔截粒子的屏障，是潔凈室能否維持相應(yīng)潔凈等級的重要保障。當高效過濾器存在漏點時，潔凈室的潔凈度等級將面臨超限的風險，產(chǎn)品的放行將會受到挑戰(zhàn)。
三、檢漏的時間、周期和方法時間：
當調(diào)試新潔凈室和潔凈區(qū)時，或在現(xiàn)有安裝需要重新測試時，或在更換高效空氣過濾器后進行需進行高效檢漏測試。
另外，當環(huán)境監(jiān)測顯示空氣質(zhì)量惡化、或當產(chǎn)品無菌試驗不合格、培養(yǎng)基模擬灌裝試驗失敗時，高效檢漏可作為偏差調(diào)查的一部分。
周期：
對于A、B級區(qū)，高效檢漏的周期一般是半年進行1次；C、D級區(qū)一般為1年進行1次。兩次檢漏的間隔時間最長不宜超過24個月。
方法：檢測方法分為氣溶膠光度計法及粒子計數(shù)器法。
基本方法為：在過濾器上風向引入檢測氣溶膠，在過濾器的下風向?qū)^濾器及其支撐架進行掃描；或在下風向的風管中采樣。由于高效過濾器需要在大劑量的氣溶膠環(huán)境中才有可能暴露出漏點，因此我們通常在檢漏時采用氣溶膠加光度計的挑戰(zhàn)性測試方法：通過在過濾器上游發(fā)出遠超自然塵濃度的人工塵，然后使用光度計檢測高效過濾器下游處的漏點位置或泄漏率。粒子計數(shù)器法則更多地應(yīng)用于過濾器廠家檢測MPPS（最易穿透粒徑）或?qū)Πl(fā)煙濃度有著更低要求的電子行業(yè)高效檢漏等場景。
應(yīng)當注意的是，高效檢漏宜在風速、風量、靜壓差測試完成后進行。