潔凈室的級別是按其空氣潔凈度劃分的。1963年,發明了單向流理念的圣地亞公司的專家們,在美國軍方、政府部門和同行們的支持下撰寫了第一個FS 209標準,以0.5μm粒徑的懸浮粒子數量作為潔凈度級別判定的依據。該標準對潔凈室的設計和運行產生了巨大的影響,并成為包括ISO 14644-1在內的諸多國際標準的基礎。
在潔凈度級別的判定和日常檢測中,檢測人員應確認以下測試參數:
? 最小采樣點的個數
? 采樣點的位置
? 最少采樣體積和采樣時間