恢復(fù)測(cè)試的目的是確定非單向氣流潔凈室或潔凈空間及其系統(tǒng)在潔凈空間內(nèi)短暫的顆粒生成事件后達(dá)到規(guī)定的穩(wěn)定狀態(tài)潔凈度水平所需的時(shí)間。不建議在單向氣流潔凈空間或ISO 8級(jí)區(qū)域進(jìn)行此測(cè)試。
· 儀器和設(shè)備 ·
· 氣溶膠發(fā)生器或氣流可視化發(fā)生器。
· 離散粒子計(jì)數(shù)器。可選配氣溶膠光度計(jì)。
· 測(cè)試程序 ·
· 點(diǎn)的數(shù)量和點(diǎn)的位置有待確定。
· 確保潔凈室 HVAC 系統(tǒng)正常運(yùn)行。
· 按照制造商的說明設(shè)置粒子計(jì)數(shù)器或光度計(jì)。
注意：使用粒子計(jì)數(shù)器時(shí)建議使用氣溶膠稀釋器，以避免巧合損失和光學(xué)元件污染。
· 采樣探頭不應(yīng)直接安裝在 HEPA 過濾器或室內(nèi)空氣供應(yīng)下方。
· 識(shí)別測(cè)試區(qū)域內(nèi)氣流不暢的區(qū)域、湍流區(qū)域等。樣品探頭應(yīng)略高于工作臺(tái)面高度或潛在產(chǎn)品暴露高度。
· 一臺(tái)遠(yuǎn)程儀器最多可測(cè)量四個(gè)采樣點(diǎn)。最長(zhǎng) 8 米（26 英尺）的采樣管可從潔凈室延伸至粒子計(jì)數(shù)器/光度計(jì)。每個(gè)采樣點(diǎn)將每隔 15 秒按順序從每個(gè)采樣管中取樣。
· 在空氣處理機(jī)組運(yùn)行時(shí)，在待測(cè)潔凈室或潔凈空間內(nèi)產(chǎn)生顆粒物挑戰(zhàn)。將初始顆粒濃度提高至目標(biāo)潔凈度等級(jí)的 1,000 至 10,000 倍。
· 停止氣溶膠挑戰(zhàn)，記錄開始時(shí)間，然后開始測(cè)量氣溶膠濃度。每分鐘記錄6秒至12秒的采樣周期內(nèi)的氣溶膠濃度，直到顆粒數(shù)量恢復(fù)到目標(biāo)清潔度水平的十倍。
· 記錄并繪制每個(gè)樣本位置的粒子濃度與時(shí)間的關(guān)系。
· 恢復(fù)時(shí)間是指顆粒濃度下降兩個(gè)數(shù)量級(jí)所需的時(shí)間（以分鐘為單位），即每個(gè)位置從目標(biāo)濃度的1000倍恢復(fù)到目標(biāo)濃度的10倍所需的時(shí)間。潔凈室中恢復(fù)速度最慢的位置決定了房間的恢復(fù)率。