潔凈室顆粒物測試標準由 ISO-14644-1 和 ISO-14644-2 制定。在對潔凈室進行顆粒物測試時，請務必遵循這些標準。環境科學與技術研究所 (IEST) 與 ISO 合作制定測試標準。定期正確執行顆粒物測試對于確保潔凈室正常運行至關重要。本博客介紹了潔凈室顆粒物測試中常見的錯誤。
| 級別 | Maximum Particles/m3 | FED STD 209E 等效標準 | |||||
| >0.1 um | >0.2 um | >0.3 um | >0.5 um | >1 um | >5 um | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Class 1 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | Class 10 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | Class 100 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | Class 1,000 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | Class 10,000 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | Class 100,000 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 室內空氣 | |||
錯誤＃1：在潔凈室中沒有采集足夠的樣本位置
ISO-14644-1 2015 大幅增加了潔凈室測試所需的采樣位置數量。請確保采樣位置數量正確。
| 房間面積 m2 | 房間面積 ft2 | ISO-14644-1: 1999 | ISO-14644-1 2015 |
| 52 | 560 | 8 | 10 |
| 56 | 603 | 8 | 11 |
| 64 | 689 | 8 | 13 |
| 68 | 732 | 9 | 13 |
| 72 | 775 | 9 | 14 |
| 76 | 818 | 9 | 15 |
| 104 | 1119 | 11 | 16 |
| 108 | 1163 | 11 | 17 |
| 116 | 1249 | 11 | 18 |
| 148 | 1593 | 13 | 19 |
| 156 | 1679 | 13 | 20 |
| 192 | 2067 | 14 | 21 |
| 232 | 2497 | 16 | 22 |
| 276 | 2971 | 17 | 23 |
| 352 | 3789 | 19 | 24 |
| 436 | 4693 | 21 | 25 |
| 636 | 6845 | 24 | 26 |
| 1000 | 10764 | 32 | 27 |
| >1000 | >10764 | n/a | 見公式 |
對于面積大于 1000 平方米的房間，使用以下公式：NL = 27 x (面積 ㎡ / 1000)
錯誤＃2：使用錯誤類型的粒子計數器來測試您的潔凈室
手持式粒子計數器僅可用于尋找粒子源。它們無法測試足夠大的空氣體積，因此無法準確測量潔凈室中的粒子密度。應使用臺式粒子計數器測量潔凈室中的粒子密度。臺式粒子計數器通常測量：較低流速（0.1 cfm）的潔凈室粒子計數器可用于較低級別的 ISO-7 潔凈室和 ISO-8 潔凈室。較高流速（1.0 cfm）的潔凈室粒子計數器則適用于較高級別的 ISO-5 潔凈室和 ISO-6 潔凈室。
錯誤＃3：沒有每年校準粒子計數器
粒子計數器應每年由制造商或授權的第三方服務機構按照NIST可追溯標準進行校準。正確校準的設備是獲得精確粒子計數測量的必要條件。
錯誤＃4：采取正確的粒子測試測量
竣工潔凈室顆粒物測試是在潔凈室剛剛竣工時進行的測試。通常情況下，潔凈室中沒有設備或人員。靜止潔凈室顆粒物測試是在潔凈室已投入使用且配備設備，但無人員在場且無任何操作進行時進行的測試。運行潔凈室顆粒物測試是在人員在潔凈室內工作并操作設備時進行的測試。公司的 QA / ISO / CGMP 程序將規定需要進行哪種潔凈室顆粒物測試。
錯誤＃5：假設連續測量顆粒測量系統無需每年進行顆粒測試
一些潔凈室配備了連續測量顆粒物測量系統。這些系統僅在每個房間的幾個固定位置采樣。為了滿足 ISO-14644 標準并進行有效的潔凈室顆粒物測試，需要設置比固定位置更多的測試點。因此，仍然應該定期進行手動潔凈室顆粒物測試，以確保您的潔凈室符合其設計的潔凈室等級。
總結：
定期進行有效的潔凈室顆粒物測試對于確保潔凈室正常運行至關重要。ISO14644-1 和 ISO14644-2 是潔凈室分類和潔凈室顆粒物測試的 ISO 標準。潔凈室顆粒物測試中最常見的五個錯誤是：
1) 采樣點不足
2) 未使用正確的顆粒物計數器
3) 未定期校準顆粒物計數器
4) 未選擇潔凈室顆粒物測試要求
5) 依賴連續測量系統而非定期進行潔凈室顆粒物測試。